08
IC FABRICATION FLOWTest & Package
STEP 08 OF 09 — ASSEMBLY, TEST & PACKAGING
Test &
Package
Wafer Probe, Dicing, Packaging — ขั้นตอนสุดท้ายก่อนส่ง Chip ถึงมือลูกค้า และ Advanced Packaging ที่กำลังเปลี่ยนอุตสาหกรรม
01 ATP Overview
หลังจาก wafer ผ่าน fabrication ทั้งหมดแล้ว ต้องผ่านการทดสอบและบรรจุหีบห่อก่อนส่งลูกค้า เรียกรวมว่า Assembly, Test, and Packaging (ATP) หรือ OSAT
OSAT Industry
บริษัท OSAT ชั้นนำ เช่น ASE, Amkor, JCET รับ wafer จาก foundry มา package และ test ก่อนส่ง fabless company เช่น Qualcomm, Apple, AMD — มูลค่าตลาด ~$40B ต่อปี
1
Wafer Probe Test (EWS)
Test ทุก die บน wafer ก่อน dicing ด้วย Probe Card + ATE
2
Dicing
ตัด wafer เป็น individual die ตาม Scribe Line
3
Die Attach & Wire Bond / Flip Chip
ติด die บน substrate เชื่อมต่อด้วย wire bond หรือ solder bump
4
Molding
หุ้ม die ด้วย epoxy mold compound ปกป้องจาก moisture และ mechanical stress
5
Final Test & Marking
Test packaged chip, speed binning, laser mark part number
📍 CAREER ROADMAP CONTEXT
STAGE 06 — BEOL & METALLIZATION: Back-End-Of-Line Interconnects
Damascene process (single/dual damascene), Cu electroplating, barrier metals (TaN/Ta/TiN), low-k dielectrics (SiOC, SiCOH), air gaps; BEOL stack optimization, electromigration reliability
Equipment: Novellus CVD, KLA-Tencor ETCH-metric, Hitachi SEM
Path: Process / Fab Engineer, Test Engineer (ATE / DFT), Power Semiconductor Engineer
Damascene process (single/dual damascene), Cu electroplating, barrier metals (TaN/Ta/TiN), low-k dielectrics (SiOC, SiCOH), air gaps; BEOL stack optimization, electromigration reliability
Equipment: Novellus CVD, KLA-Tencor ETCH-metric, Hitachi SEM
Path: Process / Fab Engineer, Test Engineer (ATE / DFT), Power Semiconductor Engineer
02 Wafer Probe Test
ก่อน dicing ต้อง test ทุก die บน wafer เพื่อ mark die ที่ fail ไม่ต้อง package สิ้นเปลือง
PROBE CARD
Probe Card
MEMS spring probe หรือ cobra needle สัมผัส pad ของ die โดยตรง — 1000+ contacts พร้อมกัน
TESTER
ATE (Automated Test)
ส่ง test vector ตรวจ functional + parametric + leakage เก็บ wafer map
Wafer-Level Burn-in
บาง chip ต้องทำ burn-in ที่ elevated temperature + voltage เพื่อคัด early failure (Infant Mortality) ออกก่อน package
03 Wafer Dicing
wafer จะถูกตัดเป็น individual die โดยตัดตาม Scribe Line ที่เว้นไว้รอบ die
| เทคนิค | Kerf Width | ข้อดี | ใช้กับ |
|---|---|---|---|
| Diamond Blade Saw | ~50–80 μm | ราคาถูก, mature | Standard die |
| Laser Dicing | ~10–20 μm | kerf เล็ก, ไม่มี debris | Thin wafer, LED |
| Stealth Dicing | ~5–10 μm | ไม่มี kerf จริง, clean edge | Memory, MEMS |
| Plasma Dicing | <5 μm | kerf เล็กมาก, high speed | Advanced packaging |
04 IC Packaging
Package ปกป้อง die จากสภาพแวดล้อม และเชื่อมต่อ die กับ PCB
| Package | Connection | ข้อดี | ตัวอย่าง |
|---|---|---|---|
| Wire Bond (QFP/BGA) | Gold/Cu wire | ราคาถูก, mature | MCU, memory |
| Flip Chip BGA | Solder bump | Performance สูง, I/O เยอะ | CPU, GPU, AP |
| Wafer Level CSP | Redistribution + bump | เล็กที่สุด | RF, PMIC, sensors |
| SiP (System-in-Package) | Mixed | Integration สูง | Apple Watch |
05 Final Test
หลัง package แล้วต้อง final test อีกครั้งที่ operating condition จริง
HANDLER
IC Handler
หยิบ packaged IC ใส่ test socket อัตโนมัติ ความเร็ว >10,000 units/hr
BURN-IN
Burn-in Test
test ที่ high temp + voltage นาน 48–168 ชั่วโมง คัด early failure ออก
BINNING
Speed Binning
คัดแยกตาม max frequency ที่ผ่าน — ได้ i9 vs i7 vs i5 จาก wafer เดียวกัน
MARKING
Laser Marking
Laser mark part number, date code, speed grade บน package
Speed Binning คืออะไร?
Chip ทุกตัวมาจาก wafer เดียวกัน แต่ test ที่ความเร็วต่างกัน — ตัวที่ทำงานได้ที่ 5GHz ขาย Core i9, ตัวที่ได้แค่ 3.5GHz ขายเป็น i5 ราคาต่างกันหลายเท่า
06 Advanced Packaging — อนาคตของอุตสาหกรรม
เมื่อ transistor scaling ชะลอลง Advanced Packaging กลายเป็นทางออกในการเพิ่ม performance ด้วย Chiplet Architecture
| เทคนิค | บริษัท | คำอธิบาย |
|---|---|---|
| 2.5D Interposer | TSMC CoWoS | Chiplets บน Si interposer — AMD Instinct MI300 |
| 3D Stacking | TSMC SoIC, Intel Foveros | Die ซ้อนกันตรงๆ — Intel Meteor Lake |
| HBM Memory | SK Hynix, Samsung | DRAM stack ติดข้าง logic die บน interposer |
| Fan-out WLP (FOWLP) | TSMC InFO, ASE FOCoS | Apple A-series, Qualcomm — บาง, performance สูง |
Chiplet Era
แทนที่จะสร้าง monolithic chip ขนาดใหญ่ บริษัทอย่าง AMD, Intel, Apple แยก function เป็น chiplet เล็กๆ แล้ว package รวมกัน ลดต้นทุน เพิ่ม yield และ mix-and-match process nodes