❌ ความเข้าใจผิด: \"การเพิ่มค่า Numerical Aperture (NA) เพื่อลดขนาดฟีเจอร์ไม่มีผลเสียใดๆ\"

ความจริง: แม้ว่าค่า NA ที่สูงขึ้นจะช่วยปรับปรุงกำลังแยกภาพ (Resolution: $R \propto 1/NA$) ให้เล็กลงได้ดีขึ้นจริง แต่ผลกระทบที่หลีกเลี่ยงไม่ได้คือ ช่วงความลึกของโฟกัสจะแคบลงอย่างรวดเร็วมาก (DOF $\propto 1/NA^2$) ซึ่งทำให้กระบวนการโฟกัสทนทานต่อความหนาของแผ่นเวเฟอร์หรือความขรุขระน้อยลงอย่างรวดเร็ว

❌ ความเข้าใจผิด: \"ถ้ากำลังแยกภาพเชิงทฤษฎี R ต่ำกว่าขนาดฟีเจอร์เป้าหมาย จะต้องผลิตสำเร็จเสมอปราศจากความผิดเพี้ยน\"

ความจริง: ปัญหาเรื่อง **Photon Stochastics (สุ่มความหนาแน่นโฟตอน)** หรือตุ่มสาดแสงในโหมด EUV จะสุ่มทำลายรูปแบบความแม่นยำแม้แสงมี Resolution เพียงพอ การเปิดค่าแสงหรือสเปกตรัมที่บิดเบี้ยวจะกระตุ้นให้เกิด Defect ลายขาด ลายแตะกัน ซึ่งต้องอาศัยการชดเชยด้วย Dose และ OPC